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技術(shù)編號(hào)：6609019

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本發(fā)明一般來(lái)說(shuō)涉及一種電子光掩模數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)(electronic frame data management system, eFDMS)，且更具體地說(shuō)，涉及一種用于半導(dǎo)體制 造自動(dòng)化的eFDMS的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)，集成電路(integrated circuit, IC)設(shè)計(jì)已從第一個(gè) 固態(tài)晶體管的發(fā)明發(fā)展到了當(dāng)今數(shù)百萬(wàn)晶體管電路。提供電路設(shè)計(jì)的這種顯著 進(jìn)展的是電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(electronic design automation,...
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