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技術(shù)編號：6609964

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本發(fā)明涉及微光刻圖形數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換，尤其涉及一種將CIF 格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法。背景技術(shù)由于不同的曝光設(shè)備一般都是使用自己專用的圖形數(shù)據(jù)格式，所以必 須進(jìn)行數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換處理。目前保留下來比較多的光學(xué)曝光系統(tǒng)仍然是 GCA3600F圖形發(fā)生器(GCA3600F Pattern Generator)和GCA3696分步 重復(fù)精縮機(GCA 3696 Photo-Repeater),其使用的PG3600圖形數(shù)據(jù)格式 (PG3600 format...
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