技術(shù)編號(hào)：6656611
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及用來(lái)自動(dòng)產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及基于軟件的應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序以規(guī)定格式產(chǎn)生光掩模定單，并且然后把該光掩模定單處理成基本上準(zhǔn)備寫的作業(yè)組(jobdeck)文件和基本上準(zhǔn)備寫的檢查文件，該檢查文件又傳送到遠(yuǎn)程光掩模制造商的用于光掩模制造的系統(tǒng)。背景技術(shù) 光掩模是包含電子電路的顯微圖像的高精度板。光掩模典型地由在其一側(cè)上具有一層鉻的非常平石英或玻璃片制成。在鉻中蝕刻的是電子電路設(shè)計(jì)的一部分。在掩模上的這種電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請(qǐng)注意，此類技術(shù)沒(méi)有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。