技術編號：6680946
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體設備自動化，特別涉及一種涂膠機光刻膠管理系統(tǒng)。 背景技術目前的涂膠機光刻膠管理系統(tǒng)，只能根據(jù)膠瓶空傳感器取得的信號，顯示待機、使 用、空瓶等膠瓶的狀態(tài)，提示操作工進行膠瓶更換，無法防止過期變質(zhì)光刻膠的使用，從而 導致無法有效檢測到的光刻圖形不良或后期良率降低。并且目前的涂膠機光刻膠管理系統(tǒng) 主機只能轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主系統(tǒng)發(fā)送的開始制品作業(yè)指令到涂膠機，而不能轉(zhuǎn)送生產(chǎn)控制主 系統(tǒng)發(fā)送的停止制品作業(yè)指令到涂膠機，這樣當涂膠機接收到光刻膠管理系統(tǒng)主機...
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