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測定器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6706793

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本發(fā)明涉及一種具有串行傳送方式的測定器,特別涉及一種于復數(shù)個模塊與控制器之間通過串行傳送方式實行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送的測定器。背景技術(shù) 于測定LSI或TFT陣列等的半導體裝置的各特性的測定器中,被測定信號輸入數(shù)較多,為綜合所測定的數(shù)據(jù)并加以解析,如參考文獻1揭示的技術(shù),較多的是采用將模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換(ADC)模擬測定以及測定值,實行向數(shù)字數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的模塊與實行數(shù)據(jù)處理·解析以該模塊所獲得的數(shù)字數(shù)據(jù)的控制器部分分離的結(jié)構(gòu)。圖2表示具有分離為模塊230、231、232以及控制器...
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