技術(shù)編號：67334
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及納米傳感器和納米測量儀，尤其涉及一種在商品化的AFM懸臂針尖上制作納米尺度熱感應(yīng)器的方法，屬于納米加工、納米尺度性能測量和電子科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)迄今為止，已有許多特征尺度在100納米以下的低維材料被制造出來，如碳納米管、各種金屬或半導(dǎo)體的納米線、石墨烯等。同時(shí)，隨著大規(guī)模集成電路制作工藝的不斷改善，傳統(tǒng)器件的特征尺寸也已經(jīng)縮小到幾十納米的量級。研究這些納米材料和納米器件的電子、聲子傳輸以及能量耗散是一項(xiàng)意義重大和非常有挑戰(zhàn)性的課題，例如研究大規(guī)模集成電路的熱量分布和耗散問題有很實(shí)際的用途。傳統(tǒng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。