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一種阻變式存儲(chǔ)器單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6736921

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本發(fā)明屬于超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)中的非易失存儲(chǔ)器,具體涉及一種阻變式非易失存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)單元及其工作機(jī)制。背景技術(shù)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器是各種電子設(shè)備系統(tǒng)不可缺少的組成部分,而非易失半導(dǎo)體存儲(chǔ)器具有能在斷電情況下仍然保存數(shù)據(jù)的特性,因而被廣泛運(yùn)用于各種移動(dòng)、便攜式設(shè)備,如手機(jī)、筆記本、掌上電腦等。隨著特征尺寸不斷縮小,傳統(tǒng)的浮柵結(jié)構(gòu)漸漸接近瓶頸,而新型阻變式非易失存儲(chǔ)器(Resistance Random Access Memory,簡(jiǎn)稱RRAM)的出現(xiàn)為制造更小、更...
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