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一種小電極結(jié)構(gòu)阻變存儲器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6739115

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本發(fā)明屬于超大集成規(guī)模中半導(dǎo)體阻變存儲器領(lǐng)域,具體涉及一種能夠縮小存儲器電極面積的阻變存儲器及其制備方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體存儲器是各種電子設(shè)備系統(tǒng)不可缺少的組成部分,廣泛運用于各種移動,便攜式設(shè)備,如手機,筆記本,掌上電腦等。而由于近些年便攜式,移動式電子設(shè)備的快速發(fā)展,各種性能的存儲器在市場上占據(jù)的地位也越來越高,這也進(jìn)一步促進(jìn)了人們對于存儲器領(lǐng)域的研究和思考。目前,市場上的存儲器有一部分是基于摻雜(如硼,磷)的多晶硅柵做浮置柵極(fIoatinggate...
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