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基板的制造方法、磁盤用玻璃基板的制造方法及磁盤的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6740167

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本發(fā)明涉及一種基板的制造方法。特別是涉及基板的鏡面拋光,作為對(duì)象的基板除搭載于硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)等磁盤裝置上的磁盤用基板以外,還包括光掩?;濉雽?dǎo)體基板、顯示器用基板等。背景技術(shù)近年來(lái),半導(dǎo)體、顯示器、磁記錄介質(zhì)等的高精度化顯著,其中,例如,對(duì)作為支撐高信息化社會(huì)的信息記錄裝置之一的磁盤裝置(HDD)中所用的磁記錄介質(zhì)(磁盤),要求記錄密度的進(jìn)一步提高和低噪音。為了滿足這一要求,在磁記錄介質(zhì)的制造工序中,需要極高的清潔性和平滑性。作為電腦等信息處理裝置...
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