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一種基于氮氧化鉿低功耗阻變存儲(chǔ)器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6741568

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本發(fā)明屬于微電子,具體涉及。背景技術(shù)阻變存儲(chǔ)器(RRAM)由簡(jiǎn)單的三明治結(jié)構(gòu)(MM)金屬-阻變層-金屬構(gòu)成,由于其具有較快的開(kāi)關(guān)速度、較大的集成密度、較長(zhǎng)的保持時(shí)間、多值存儲(chǔ)的潛能,近幾年來(lái)得到了廣大的研究人員的深入的探索。因此阻變存儲(chǔ)器很可能取代傳統(tǒng)的浮柵結(jié)構(gòu)的flash存儲(chǔ)器,成為新一代非揮發(fā)性存儲(chǔ)器。阻變存儲(chǔ)器件通過(guò)高阻來(lái)代表“O “,用低阻來(lái)代表” I “,通過(guò)高低阻值來(lái)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。在高阻態(tài)向低阻態(tài)轉(zhuǎn)變的時(shí)候稱為set過(guò)程,通常會(huì)有一個(gè)限流來(lái)保護(hù)器件...
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