技術編號：6752016
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種形成薄膜層、保護層、耐摩擦層的方法和系統(tǒng)，尤指一種在磁性裝置上形成保護層的方法和系統(tǒng)。背景技術 目前，磁性裝置，如磁性讀/寫頭、磁盤，被廣泛應用于數(shù)據(jù)儲存工業(yè)。參考圖4，典型的磁性讀/寫頭，如磁阻(magneto-resistance，MR)磁頭，通常包括基片34，屏蔽罩(shield)33，磁阻元件35，線圈32及磁軛(yoke)31.參考圖6，典型的磁盤包括基片10、緩沖層(buffer layer)20及磁性層(magneticlaye...
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