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分離式柵極快閃存儲(chǔ)器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6753578

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本發(fā)明涉及一種分離式柵極快閃存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)和制造方法,特別是涉及一種可由自我對準(zhǔn)方式形成的分離式柵極快閃存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)和制造方法。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置中,快閃存儲(chǔ)器是一種非揮發(fā)性(non-volatile)存儲(chǔ)器,且屬于可抹除及可編程的只讀存儲(chǔ)器(erasable programmable read-onlymemory,EPROM)??扉W存儲(chǔ)器的優(yōu)點(diǎn)是其可針對整個(gè)存儲(chǔ)器區(qū)塊進(jìn)行抹除,且抹除速度快,約只需1至2秒。因此,近年來,快閃存儲(chǔ)器已被廣泛地運(yùn)用于...
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