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能夠減小寫(xiě)操作電流的納米相變存儲(chǔ)器單元的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6756761

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本發(fā)明屬于微電子,具體涉及一種用于減小寫(xiě)操作電流的相變存儲(chǔ)器單元制作方法。背景技術(shù) 存儲(chǔ)器在半導(dǎo)體市場(chǎng)中占有重要地位,僅DRAM(Dynamnic Randam Access Memory)和FLASH兩種就占有整個(gè)市場(chǎng)的15%,隨著便攜式電子設(shè)備的逐步普及,不揮發(fā)存儲(chǔ)器的市場(chǎng)也越來(lái)越大,目前FLASHh占不揮發(fā)存儲(chǔ)器的主流,約占90%。但隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步,F(xiàn)LASH遇到了越來(lái)越多的技術(shù)瓶頸,首先存儲(chǔ)電荷的浮柵不能隨著集成電路工藝的發(fā)展無(wú)限制地減薄,此...
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