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雙阱溝道分裂otp存儲(chǔ)單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6770695

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本發(fā)明總地涉及非易失性存儲(chǔ)器。更具體地,本發(fā)明涉及反熔絲器件。背景技術(shù)在下面描述中,術(shù)語(yǔ)MOS用于表示任意FET或MIS晶體管、半晶體管或電容器結(jié)構(gòu)。為了簡(jiǎn)化實(shí)施例的描述,在下面,引用的柵極氧化層應(yīng)被理解為包括電介質(zhì)材料、氧化物或氧化物和電介質(zhì)材料的組合。在過去的30年間,反熔絲技術(shù)已經(jīng)引起大量發(fā)明者、IC設(shè)計(jì)者和制造商們的極大關(guān)注。反熔絲是可改變?yōu)閷?dǎo)電狀態(tài)的結(jié)構(gòu),或換言之,是從不導(dǎo)電狀態(tài)改變?yōu)閷?dǎo)電狀態(tài)的電子器件。同樣,二進(jìn)制狀態(tài),響應(yīng)于例如編程電壓或編程...
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