技術(shù)編號：6772536
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造及機械加工領(lǐng)域，特別涉及一種老化測試系統(tǒng)。 背景技術(shù)集成電路(IC)芯片在制造之后必須進行測試，該測試通常是在提高的溫度下進 行的老化測試。老化測試可以加速芯片的老化，能夠在制造工藝中，早識別和放棄有缺陷的芯片。目前，在老化過程中對半導(dǎo)體器件質(zhì)量的篩選技術(shù)，還停留在比較傳統(tǒng)的加電老 化水平。其傳統(tǒng)的老化方法，是將待老化測試的半導(dǎo)體器件放入高溫老化測試區(qū)中，在 80°C -125°C的高溫環(huán)境下，連續(xù)多個小時，如96小時，在各管腳處輸入5...
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