技術(shù)編號(hào)：6787278
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光電子，具體涉及一種DFB激光器光柵及芯片的制作方法。背景技術(shù)由于InP基DFB激光器穩(wěn)定的動(dòng)態(tài)單縱模特點(diǎn)，使其被廣泛應(yīng)用于光纖通信發(fā)射器件。InP基DFB激光器中周期為180 250nm的光柵結(jié)構(gòu)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行選擇，得到1. 2^1. 7 μ m穩(wěn)定的動(dòng)態(tài)單縱模。其中光柵制作好壞及均勻性直接影響DFB激光器性能及成品率。傳統(tǒng)的光柵制作方法如下在外延片上涂覆光刻膠或者PMMA，通過全息曝光法和E-beam曝光法獲得圖形。然后通過溴酸系列腐蝕液進(jìn)行濕法...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。