技術編號：6788000
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS超級電容器的制備技術，具體是一種應用于MEMS超級電容器的復合膜電極材料的制備方法。背景技術超級電容器，又被稱為電化學電容器，是隨著材料科學的突破而出現(xiàn)的一種新型功率型儲能元件，是電能存儲領域的一項革命性發(fā)展。超級電容器既具有傳統(tǒng)電容器的大電流快速充放電特性，又具有電池的儲能特性。近年來，在微米納米以及MEMS(Micro-electro-mechanical systems)技術的帶動下,一種微型的超級電容器應運而生，它被稱為MEMS超...
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