技術編號：6788076
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般地涉及半導體納米器件，更具體地說，涉及通過將納米探針(nano-probe)或納米刀安裝于懸置石墨烯膜(suspended graphene membrane)上而構(gòu)造的半導體納米探針和納米刀器件。背景技術納米探針和納米刀對于諸如醫(yī)學診斷、外科手術以及科學實驗的應用非常有用并用作工業(yè)傳感器。典型地,納米探針/刀安裝于機電膜(electro-mechanical membrane)上。這些器件的機電膜典型地由金屬膜或經(jīng)蝕刻的硅層制成。為提高器件靈敏...
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