技術(shù)編號：6788930
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及激光加工裝置，所述激光加工裝置適于在將第一部件和第二部件連接而成的被加工物形成從第一部件到達第二部件的激光加工孔，所述第一部件由第一材料形成，所述第二部件由第二材料形成。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件制造工序中，在大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面由呈格子狀地排列的被稱為間隔道的分割預(yù)定線劃分多個區(qū)域，在所述劃分出的區(qū)域形成有IC(Integrated Circuit集成電路)、LSI (Large Scale Integration大規(guī)模集成電路)等器件。然...
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