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一種具有復(fù)合基板的薄膜電容器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6789456

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本發(fā)明屬于薄膜電容器領(lǐng)域,特別是涉及。背景技術(shù)現(xiàn)有薄膜電容器中,由于對電容器的電容量提出了更高的要求?,F(xiàn)有技術(shù)中,薄膜電容器一般包括基板、電介質(zhì)層以及電極層。電介質(zhì)層的微觀結(jié)構(gòu)是決定電容器性能的關(guān)鍵因素。因此,對于薄膜電容器基板的材料構(gòu)造有嚴(yán)格的要求?,F(xiàn)有的薄膜電容器基板多有采用金屬鎳來構(gòu)成。為了在提高電容量的同時不影響電容器的性能,鎳基板的純度和雜質(zhì)構(gòu)成就不能忽視。若鎳基板中含有不期望的雜質(zhì),或者其純度不足,將限制薄膜電容器的電容量提高,并且可能增加其泄...
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