技術編號：6789477
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用選自氧化鋅、氧化銦、氧化錫和氧化鎘的透明氧化物半導體制造的晶體管，其中在沉積所述氧化物半導體時沒有特意摻入額外的摻雜元素，本發(fā)明還涉及所述氧化物半導體的沉積方法。透明氧化物半導體可用于制造透明薄膜晶體管。透明晶體管可用于控制顯示器中的像素。由于是透明的，晶體管不會顯著降低像素的有效面積。背景技術Fortunato 等人(Materials Research Society Symposium Proceedings (2001)666 )描...
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