技術(shù)編號(hào)：6789794
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包括半導(dǎo)體層的半導(dǎo)體光學(xué)器件的制造方法、半導(dǎo)體光學(xué)激光元件的制造方法以及半導(dǎo)體光學(xué)器件。背景技術(shù)半導(dǎo)體光學(xué)器件中包括發(fā)光器件和光接收器件等這樣的進(jìn)行電-光轉(zhuǎn)換/光-電轉(zhuǎn)換的光學(xué)器件，以及光導(dǎo)波路、光學(xué)開關(guān)、隔離器和光子晶體等這樣的進(jìn)行光信號(hào)的傳送等的光學(xué)器件。這樣的光學(xué)器件具有以半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)為主的構(gòu)成，并且有時(shí)候在其制造工藝中包含用于改變半導(dǎo)體層疊結(jié)構(gòu)中規(guī)定的半導(dǎo)體層的物理屬性的熱處理工序。例如，在GaAs系半導(dǎo)體激光中，光射出端面由于強(qiáng)的光密...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。