技術(shù)編號：6791144
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體而言，涉及。背景技術(shù)以藍(lán)寶石(Al2O3)作為襯底的半導(dǎo)體外延片主要適用于中小尺寸芯片的制備，主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)樾〕叽缫壕П彻庠?、?shù)碼顯示、玩具、儀表等，但是由于以藍(lán)寶石為襯底的半導(dǎo)體外延片制備的中大尺寸芯片由于存在電流擁擠、不易散熱造成發(fā)光效率低的問題，導(dǎo)致很難將其作為照明用芯片使用，而目前照明所需的中大尺寸芯片主要依賴于進(jìn)口的以SiC作為襯底的半導(dǎo)體外延片，使得照明器件的成本大大增高。因此，考慮到以藍(lán)寶石為襯底的半導(dǎo)體外延片的成本...
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