技術編號：6791684
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及適合于顯示器裝置的制造等的必須清潔環(huán)境的工序的輸送系統(tǒng)。背景技術液晶顯示器(IXD)、等離子顯示器(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)等的顯示器裝置的制造，需要避免微小的灰塵或附著水分，需要清潔環(huán)境。不僅在各工序中，即使在連接各工序之間的輸送裝置中，也希望實現(xiàn)清潔環(huán)境。通常，為了實現(xiàn)這種清潔環(huán)境，利用無塵室。無塵室典型的是具備頂棚，具有內部能夠流通空氣的室；具有相同室的地板；連通兩個室并使空氣回流、關閉的管道。而且，無塵室具備利用了從空氣除去微細...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。