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技術(shù)編號：6793038

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本實用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體來說是一種影像傳感器。背景技術(shù)在半導(dǎo)體、特別是影像傳感器領(lǐng)域，通常采用電鍍銅工藝進(jìn)行互連，導(dǎo)通邏輯晶圓與像素晶圓，由于深槽的深寬比大，對填充能力要求嚴(yán)格，傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的影像傳感器在銅填充工藝中極易形成空洞，如圖2為傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的影像傳感器在填充銅后的透射電子顯微鏡(TEM !Transmission electron microscope)不意圖，可以明顯看到通孔內(nèi)有空洞，如圖2所示，而空洞會對傳感器的可靠性產(chǎn)生影響，傳統(tǒng)背照式影像傳...
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