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具有硅氧烷聚合物界面的有機(jī)薄膜晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6797168

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本發(fā)明涉及具有改進(jìn)性能的有機(jī)薄膜晶體管。更具體地說,本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體和柵極電介體之間具有一層硅氧烷聚合物層的有機(jī)薄膜半導(dǎo)體,并涉及這種晶體管的制造方法。背景技術(shù) 各種用途(包括低成本電子器件)均對有機(jī)半導(dǎo)體非常感興趣。相信可合成有機(jī)物使之具有所需的電子性能用于各種器件,并能構(gòu)造成現(xiàn)有的結(jié)晶硅微電子器件不可能達(dá)到的低成本、能夠線軸對線軸加工。有機(jī)電子器件涉及的一個關(guān)注點(diǎn)是有機(jī)半導(dǎo)體和另一個器件層之間形成的界面的質(zhì)量。目前在半導(dǎo)體和柵極電介體之間的界面上進(jìn)行...
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