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Cmos晶體管和單電容動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)單元及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6798991

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本發(fā)明涉及使用互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)晶體管和一個(gè)存儲(chǔ)電容器的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器,更具體地說,本發(fā)明涉及用于大規(guī)模集成電路技術(shù)的動(dòng)態(tài)操作的隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)的結(jié)構(gòu)與制造方法。1986年12月30日公布的Kume等人的美國專利U.S.4,633,438題為“疊層半導(dǎo)體存儲(chǔ)器”,它描述了一種進(jìn)行動(dòng)態(tài)操作的三管隨機(jī)存取存儲(chǔ)器,其中一個(gè)晶體管疊放在另一個(gè)晶體管上。寫入用的晶體管置于讀出用的晶體管上,其一端與晶體管的柵電極一起用來判斷數(shù)據(jù)。其另一端與讀出用...
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