技術(shù)編號：6802402
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光檢測裝置，尤其涉及對從背面入射的光利用設(shè)置在與該背面相對的前面上的光電變換元件而加以檢測的背面入射型。背景技術(shù) 通過由設(shè)置在該半導(dǎo)體基板的前面的電荷耦合元件構(gòu)成的電荷讀取部(以下稱CCD讀取部)，而檢測出從背面入射并透過半導(dǎo)體基板的光線的光檢測裝置(以下稱背面入射型光檢測裝置)，與通過設(shè)置在前面之上的CCD讀取部直接檢測入射光的光檢測裝置(以下稱前面入射型光檢測裝置)相比，直至更短波長區(qū)域它仍具有良好的靈敏度。因此，作為要求在大范圍波長區(qū)域進(jìn)行...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。