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高品質(zhì)因數(shù)集成電感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6809283

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本發(fā)明涉及用于高頻集成電路的電感器。集成電路,特別是用于無線應(yīng)用中的集成電路,趨向于正向高集成度、低電源電壓工作、和實(shí)現(xiàn)用戶希望的低花費(fèi)、小尺寸、長(zhǎng)電池壽命所要求的最小功耗的設(shè)計(jì)發(fā)展。然而,直到現(xiàn)在,現(xiàn)有硅技術(shù)不能提供有效的可集成電感結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體襯底中的損耗和由于電感導(dǎo)電通路的串聯(lián)電阻引起的損耗(其隨工作頻率的增加而增加)受器件的Q值限制。結(jié)果就限制了設(shè)計(jì)人員在硅集成電路上提供匹配網(wǎng)絡(luò)、無源濾波、感性負(fù)載和其它基于電感器的技術(shù)的能力。平面型電感器(如螺旋...
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