技術(shù)編號：6809389
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及固定夾緊機(jī)構(gòu)，特別是一種適用于掩模與硅片對準(zhǔn)后固定的夾緊機(jī)構(gòu)。上述LIGA工藝技術(shù)中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)即是掩模與硅片標(biāo)記的對準(zhǔn)技術(shù)，現(xiàn)有的用于掩模的對準(zhǔn)都是在線對準(zhǔn)，所以固定方式均為對準(zhǔn)后在線固定，其固定有通過真空吸附或是磁吸附以及機(jī)構(gòu)固定，這些裝置的結(jié)構(gòu)特點決定了不能離線到別處進(jìn)行掃描曝光，如果要離線對準(zhǔn)，夾緊后易產(chǎn)生滑動或位置偏移，造成對準(zhǔn)精度降低，這樣直接影響著圖形的套刻。本實用新型內(nèi)容本實用新型的技術(shù)解決問題是提供一種能確保高精度的適用于掩模...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。