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技術(shù)編號：6812166

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本發(fā)明涉及液晶顯示器件，特別是涉及形成用于液晶顯示器件的薄膜晶體管的曝光裝置和薄膜晶體管的形成方法。一般而論，在諸如電視、計算機監(jiān)視器、以及類似設(shè)備的顯示器件中廣泛使用了液晶顯示(LCD)器件。在LCD器件中，對于有源矩陣LCD(AMLCD)進行了深入的研究和并有了明顯的進展。AMLCD的特點是高速響應(yīng)，具有可容納大量象素的潛在能力，并且預(yù)計還可以實現(xiàn)高顯示質(zhì)量，大的屏幕尺寸和彩色屏幕等。在傳統(tǒng)的AMLCD器件中，一透明的絕緣基片上形成柵極線和漏極線，并且...
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