技術(shù)編號(hào)：6813213
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體器件平面光刻工藝領(lǐng)域，特別是涉及一種用于雙面光刻的工具制造。以往單面膜的光刻工藝，不涉及保護(hù)另外一面的問題，因此它的光刻架結(jié)構(gòu)僅有一個(gè)勻膠機(jī)片托，如附圖說明圖1光刻單面薄膜裝置結(jié)構(gòu)示意圖所示。憑借片托上的吸片孔可將樣品吸住，用以保證樣品在跟隨勻膠機(jī)片托高速旋轉(zhuǎn)時(shí)不至脫落。樣品放在勻膠機(jī)片托上，鍍膜的一面向上，經(jīng)過勻膠、堅(jiān)膜、光刻、顯影、腐蝕、去膠一系列過程，即可光刻成功。而光刻雙面膜則不同，不但要保護(hù)好正反兩面薄膜，而且必須保證堅(jiān)膜均勻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。