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技術(shù)編號(hào)：6813853

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及其制造，特別是涉及在半導(dǎo)體襯底上形成有由鉑族或含有鉑族的合金制成的導(dǎo)電層的半導(dǎo)體器件及其制造。背景技術(shù) 由于基于存儲(chǔ)器的半導(dǎo)體器件如動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)和鐵電存儲(chǔ)器(FRAM)的電容器容量變得非常大，該器件的結(jié)構(gòu)由金屬-絕緣體-半導(dǎo)體(MIS)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘?絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu)。已經(jīng)研究出鐵電膜的材料包括高電介質(zhì)材料如氧化鉭和鈦酸鍶鋇及鐵電材料如PZT和SBT。金屬和氧化電阻優(yōu)異的導(dǎo)電氧化物被用作電容器的存儲(chǔ)電極。例...
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