技術編號：6815578
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種固體器件，特別是雙極型靜電感應器件的制造方法和用這種方法制造的晶體管，以及一種新結構的雙極型靜電感應器件。本發(fā)明是在半導體材料的襯底表面上首先形成絕緣層，在絕緣層上刻出擴散窗口，通過窗口以擴散或注入方式形成柵區(qū)，再在柵區(qū)上形成源區(qū)，并在柵區(qū)、源區(qū)表面和漏區(qū)上引出電極引線，制成管芯。固體器件最早采用平面工藝，即在高阻單晶片表面分別開擴散孔、進行摻雜擴散，最終形成表面柵和表面源結構的器件。用這種工藝生產(chǎn)器件對光刻要求較高，且柵一柵間距不易做小(須...
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