技術(shù)編號(hào)：6816888
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備和方法，特別涉及用于清潔分子隔離室如用于存儲(chǔ)和轉(zhuǎn)運(yùn)半導(dǎo)體制造材料的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口箱的系統(tǒng)和方法，使之達(dá)到所希望的相對(duì)濕度，含氧量，或塵粒水平。如標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)械接口箱(SMIF)的模塊化隔離室，典型地在材料的存儲(chǔ)，轉(zhuǎn)運(yùn)和加工提供一個(gè)微環(huán)境，以隔離和控制一用于制造集成電路的晶片，晶片盒或基片周圍的環(huán)境。這些材料的加工處理通常是在一般稱之為“凈化室”的無塵室中進(jìn)行的。然而，維護(hù)這類“凈化室”處于無污染狀態(tài)需要大量的精心工作，特別是在材料的加工過...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。