技術(shù)編號：6820149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電荷耦合器件(CCD)型固態(tài)攝象器件，而且特別涉及一種其垂直和水平電荷轉(zhuǎn)移區(qū)的電荷轉(zhuǎn)移電極是以單層結(jié)構(gòu)形成的CCD固態(tài)攝象器件。由于近年來精細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展，有可能使CCD型固態(tài)攝象器件以精細(xì)的間距形成分別的電荷轉(zhuǎn)移電極，并且也由于這一事實而有可能通過刻蝕導(dǎo)電的電極材料形成具有0.2至0.3μm電極間的距離或間隔的單層電極結(jié)構(gòu)的電荷轉(zhuǎn)移器件。由于在這樣的單層電極結(jié)構(gòu)的電荷轉(zhuǎn)移器件的轉(zhuǎn)移電極之間沒有重疊區(qū)，就取得了電極間的電容小以及在電極之間基...
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