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半導(dǎo)體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6820164

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本發(fā)明涉及一種,特別涉及一種具有保險絲盒和使用一蝕刻停止薄膜,以使留在保險絲盒上的絕緣薄膜可具有一恒定厚度的。一般,在半導(dǎo)體裝置的制造工藝中,通過制造外線以取代行與列線來提高其成品率,以避免當(dāng)在半導(dǎo)體裝置中的列行線的一個單元發(fā)生故障時而使整個芯片出現(xiàn)故障。該工藝成品率也可借由提供具有多個保險絲的多個保險盒取代劣等的線,并利用借由切斷連接到相應(yīng)線的保險絲而連接到新線的修理方法得以提高。另一方面,在半導(dǎo)體裝置中形成多層的情況,借由下列工藝可在保險絲盒上形成厚絕...
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