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半導(dǎo)體器件生產(chǎn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6820485

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)方法,特別是用于制作二極管或三極管等中小功率半導(dǎo)體器件管芯上電極或片式器件支架上銀接點(diǎn)的生產(chǎn)方法。背景技術(shù) 1、二、三極管管芯上電極制作方法主要有兩種一種是利用傳統(tǒng)的真空鍍膜技術(shù)制成上電極,另一種是近幾年來出現(xiàn)的錫球技術(shù)。這兩種制作方法存在的問題是前者加工過程比較復(fù)雜,成本較高;后者使用范圍不廣泛,特別是在與金絲鍵合時,工藝難度很大,成本較高。2、片式器件支架銀點(diǎn)的常規(guī)制作方法,主要是采用在鍍銅后的支架上做選擇性鍍銀加以實(shí)現(xiàn)。...
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