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技術(shù)編號：6822891

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本發(fā)明涉及在同一襯底上或由同一襯底制造異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管和激光二極管的方法，也涉及到適于這種制造工藝的襯底。70年代末，美國加利福尼亞理工學(xué)院(CALTECH)開始了單片(例如，安排在同一晶片上或電路板里)光電集成回路的研究，參看C.P.Lee，S.Margalit，I.Ury和A.Yariv的文章，“(在半絕緣GaAs襯底中集成注入型激光器和Gunn振蕩器)Integration of an injection laserwith a Gunn osci...
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