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光電器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:6822938

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本發(fā)明涉及將太陽光等的光能直接轉(zhuǎn)變成電能的。背景技術 已知有一種在單晶硅基板上沉積非晶態(tài)或者微晶硅層的異質(zhì)結光電器件。在這種異質(zhì)結中,借助于在非晶態(tài)硅層或者微晶硅層中摻入雜質(zhì),而具有這種結的功能。但是,摻入雜質(zhì)后的非晶態(tài)硅層或者微晶硅層,由于摻雜而缺陷增加,導致產(chǎn)生所謂這種異質(zhì)結界面特性降低的問題。由于這種結界面特性的降低,所以在光電器件中使用時,載流子將再復合,結果不能得到高的變換效率。因此,提出一種光電器件(參照日本特開平3-70183號公報(IPCH...
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