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集成電路及其元件與制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6823172

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本發(fā)明涉及在制造雙極型集成電路中制作集電極引線和用以隔離集成電路中半導(dǎo)體元件的溝槽的方法,以及集電極引線,溝槽和集成電路。集電極引線、溝槽和集成電路主要應(yīng)用在射頻或其他要求元件有良好的特性的高速通訊中。在制造集成電路時(shí),通常用所謂的LOCOS(硅的局部氧化)隔離與PN結(jié)隔離相結(jié)合來(lái)隔離集成電路的元件;例如,參見(jiàn)J.A.Appelset al.,“硅的局部氧化及其在半導(dǎo)體技術(shù)中的應(yīng)用(Local oxidationof Silicon and its app...
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