技術編號:6823572
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于欲用于一拉晶裝置中為半導體裝置生成晶體的超導磁體裝置,特別是關于用于能減少漏磁場的拉晶裝置的超導磁體裝置。在為用于半導體的晶體利用拉晶裝置從熔融半導體晶體材料中拉伸晶體的過程中,采用一超導磁體裝置作為以對熔融半導體晶體材料施加靜態(tài)磁場來防止由熱對流引起的位移的靜態(tài)磁場產(chǎn)生裝置。圖1為表示一用于拉晶裝置的通常的超導磁體裝置的立體圖。圖2為由圖1的箭頭Ⅱ-Ⅱ所示方向看的截面視圖。如圖1中所示,超導磁體裝置被設置得使二超導線圈2a、2b在一C形低溫箱...
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