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技術(shù)編號(hào)：6827053

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本發(fā)明涉及。具體而言，本發(fā)明涉及對(duì)于Al和Cu布線以及其他金屬布線的防腐蝕性優(yōu)良的，同時(shí)光刻膠膜和灰化殘?jiān)锏膭冸x性優(yōu)良的。本發(fā)明優(yōu)選適用于制造IC或LSI等半導(dǎo)體元件或液晶板元件。背景技術(shù) IC或LSI等半導(dǎo)體元件或液晶板元件的制造方法是，在硅片等基板上用CVD蒸鍍法等形成導(dǎo)電性金屬膜或SiO2膜等絕緣膜，再在該膜上均勻涂布光刻膠，將其進(jìn)行選擇性的曝光、顯象處理，形成光刻膠圖案，以該圖案為掩模，選擇性地蝕刻上述CVD蒸鍍的導(dǎo)電性金屬膜或絕緣膜，形成微細(xì)回...
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