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半導體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6833535

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本發(fā)明涉及具有功率晶體管等大功率功率元件的半導體裝置。背景技術(shù) 目前已制造出將半導體集成回路(IC)等芯片封裝的半導體裝置,并用于各種電子機器中。該半導體裝置被封裝成具有用于將半導體芯片主體的端子(pad,焊點)與外部的回路連接的外部端子。在該半導體芯片主體上設有多個連接用焊點,將這些焊點分別與外部端子連接。作為向外部端子連接的方法,雖然也利用過以往的管腳,但越來越多采用球形網(wǎng)格陣列(BGA)結(jié)構(gòu)的連接方法。采用該BGA結(jié)構(gòu)的連接方法,可實現(xiàn)與半導體芯片主...
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