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單模垂直腔面發(fā)射激光器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6833872

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本發(fā)明涉及垂直腔面發(fā)射激光器,具體地涉及。背景技術(shù) VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)是由夾在一對(duì)高反射性的反射鏡疊層之間的光活性半導(dǎo)體區(qū)域形成的激光器件,其中這種反射鏡疊層可以由金屬材料層、介電材料層或外延生長(zhǎng)半導(dǎo)體材料層形成。通常,其中一個(gè)反射鏡疊層的反射性能做得不如另一個(gè),這樣使得在這兩個(gè)反射鏡疊層之間形成的共振腔中產(chǎn)生的相干光的一部分可以?xún)?yōu)先從器件一側(cè)發(fā)射出去。通常,VCSEL從共振腔的頂面或底面發(fā)射出光束發(fā)散相對(duì)較小的激光。VCSEL可以被布置成單...
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