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單一晶體管型隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的制造方法及其電容器結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6833880

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本發(fā)明是有關(guān)于一種嵌入式存儲(chǔ)器(embedded memory)的制程,特別是有關(guān)于一種可與邏輯制程(logic process)兼容的單一晶體管型隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(1T-RAM)的制造方法。背景技術(shù) 嵌入式存儲(chǔ)器邏輯組件為一種系統(tǒng)單芯片(system on a chip;SOC)組件,是指將存儲(chǔ)器組件和邏輯組件整合于同一芯片上。嵌入式存儲(chǔ)器邏輯組件包含有一單元數(shù)組區(qū)和一邏輯電路區(qū),而儲(chǔ)存于單元數(shù)組區(qū)的存儲(chǔ)單元內(nèi)的數(shù)據(jù)則由邏輯電路來操作。目前廣泛做為存儲(chǔ)單元...
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