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技術(shù)編號：6834447

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本發(fā)明涉及采用垂直布里奇曼法、垂直溫度梯度凝固法制備的添加硅的砷化鎵(GaAs)單結(jié)晶基板，尤其是關(guān)于制作LED、激光二極管等光裝置時，作為基板使用的、采用垂直布里奇曼法、垂直溫度梯度凝固法制備的添加硅的砷化鎵單結(jié)晶基板。背景技術(shù) 作為基板使用的砷化鎵(以下記作GaAs)等化合物半導(dǎo)體單結(jié)晶，一直以來，通過采用水平布里奇曼法(HB法)、液體封閉上引法(LEC法)、垂直布里奇曼法(VB法)及垂直溫度梯度凝固法(VGF法)等各種工業(yè)方法來制備(如參考專利文獻1...
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