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非揮發(fā)性存儲器結構及其制造方法技術資料下載

技術編號:6834597

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本發(fā)明涉及一種半導體元件,特別是涉及一種。背景技術 在各種非揮發(fā)性存儲器產(chǎn)品中,具有可進行多次數(shù)據(jù)的存入、讀取、抹除等動作,且存入的數(shù)據(jù)在斷電后也不會消失的優(yōu)點的可電抹除且可編程只讀存儲器(EEPROM),已成為個人計算機和電子設備所廣泛采用的一種存儲器元件。典型的可電抹除且可程序只讀存儲器以摻雜的多晶硅(polysilicon)制作浮置柵極(floating gate)與控制柵極(control gate)。而且,為了避免典型的可電抹除且可程序只讀存儲器...
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