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技術(shù)編號：6834637

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本發(fā)明涉及垂直腔面發(fā)射激光器，具體地涉及可篩選水分鈍化平面折射率導(dǎo)向型垂直腔面發(fā)射激光器。背景技術(shù) VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)是由夾在一對高反射性的反射鏡疊層之間的光活性半導(dǎo)體層(例如AlInGaAs或InGaAsP)形成的激光器件，其中這種反射鏡疊層可以由金屬材料層、電介質(zhì)材料層或外延生長半導(dǎo)體材料層形成。通常，其中一個反射鏡疊層的反射性能做得不如另一個，這樣使得在這兩個反射鏡疊層之間的光活性半導(dǎo)體層中形成的共振腔中產(chǎn)生的相干光的一部分可以從器件發(fā)...
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