技術(shù)編號:6835381
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電氣硅熔絲(e-fuse)的使用方法,特別涉及一種以多階脈沖電壓(multi-level pulse voltage)燒斷電氣硅熔絲的方法。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體內(nèi)存組件集成度的增加,相對地,產(chǎn)品的良率即可能下降。這是由于半導(dǎo)體制造步驟的復(fù)雜化以及困難度提高,在工藝步驟或者后段封裝過程中難免由于微粒等污染因素的導(dǎo)入使組件產(chǎn)生缺陷。而為了提升良率,現(xiàn)有技藝是以一種稱為冗余電路(redundancy circuit)的方法來取得想要的半導(dǎo)體內(nèi)存組件...
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